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    包郵 關注:477

    EZ6小巧型勻膠機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-涂膠設備-半自動勻膠機

    產品品牌

    Schwan technology

    規(guī)格型號:

    Easy Coater6

    發(fā)貨期限:

    3天

    庫       存:

    100

    產       地:

    中國-江蘇省

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:Schwan technology

    型號:Easy Coater6

    所屬系列:半導體加工設備-涂膠設備-半自動勻膠機

     產品性能介紹:

     

    EasyCoater 6 勻膠機被設計為結構緊湊、簡單易用,程控操作,性能穩(wěn)定,具有優(yōu)異的性價比。

     

    結構緊湊:EZ6外型尺寸為:260(W)*358(D)*258(H),特別適合放于手套箱內操作。最大可旋涂6寸圓晶的底物。

     

    簡單易用彩色觸屏控制,界面簡單易用,且自帶幫助功能,提供使用向導,對初次使用者非常方便。

     

    程控操作:提供多步編程旋涂工藝運行,最多可存貯10步10組程序,還可升級自動點膠功能。

     

    性能穩(wěn)定:工業(yè)級直流馬達和高級PLC控制,轉軸旋轉穩(wěn)定,重復性好;真空系統(tǒng)設計獨特,可靠性好。

     

    產品參數說明:

     

    HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內腔,帶排廢功能 

    SUS耐腐蝕不銹鋼機身,經久耐用

    耐溶劑性PC透明蓋子,提供動態(tài)和靜態(tài)點膠方式

    4.3寸全彩觸屏人機界面,提供觸屏筆操作

    100W直流無刷電機,高級PLC控制

    內腔直徑180mm,可處理碎片(小于1cm)至6英寸圓晶底物

    轉速可控范圍:100-10000RPM,轉速分辨率:1RPM

    加速度可控范圍:100-30000RPM/S

    可進行多步程序運行,最多可存貯10組10步程序

    帶一只自動點膠端口,可升級自動點膠功能

    寬輸入電壓適用:AC100-230V輸入

    帶真空和蓋子開關互鎖功能,確保操作安全

    可選擇設置開機密碼功能,提高設備操作安全性

     

    產品附件選擇:

     

    標配四只真空載物盤(3/16”,1/2”,1”&2.25”),適于碎片至6寸圓晶的處理

    定制載物盤可選,根據基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式載物盤設計加工 

    用于薄膜基片可提供定制微孔真空吸附載物盤 

    無油真空泵(抽氣量15L/min以上)或真空發(fā)生器可選

    4-6寸手持式對中裝置可選

    蓋子上點膠針筒支架手動點膠可選

    瓶口分液器手動點膠可選

    蠕動泵/點膠機等自動點膠裝置可選配


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    提問:
     

    請問你們這個加工精度多高??膜層能做到多厚?報價含不含泵嗎?

    balk  2017-08-08

     膜厚均勻性標稱小于3%,但是我們很多客戶實際的均勻性能做到1%。膜層的厚度是根據膠體粘度、勻膠參數有關,最厚的有100um—200um的,像SU8膠。報價是含泵的

    2017-08-15

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    服務熱線

    4006988696

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

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