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EasyCoater 6 勻膠機被設計為結構緊湊、簡單易用,程控操作,性能穩(wěn)定,具有優(yōu)異的性價比。
結構緊湊:EZ6外型尺寸為:260(W)*358(D)*258(H),特別適合放于手套箱內操作。最大可旋涂6寸圓晶的底物。
簡單易用彩色觸屏控制,界面簡單易用,且自帶幫助功能,提供使用向導,對初次使用者非常方便。
程控操作:提供多步編程旋涂工藝運行,最多可存貯10步10組程序,還可升級自動點膠功能。
性能穩(wěn)定:工業(yè)級直流馬達和高級PLC控制,轉軸旋轉穩(wěn)定,重復性好;真空系統(tǒng)設計獨特,可靠性好。
產品參數說明:
HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內腔,帶排廢功能
SUS耐腐蝕不銹鋼機身,經久耐用
耐溶劑性PC透明蓋子,提供動態(tài)和靜態(tài)點膠方式
4.3寸全彩觸屏人機界面,提供觸屏筆操作
100W直流無刷電機,高級PLC控制
內腔直徑180mm,可處理碎片(小于1cm)至6英寸圓晶底物
轉速可控范圍:100-10000RPM,轉速分辨率:1RPM
加速度可控范圍:100-30000RPM/S
可進行多步程序運行,最多可存貯10組10步程序
帶一只自動點膠端口,可升級自動點膠功能
寬輸入電壓適用:AC100-230V輸入
帶真空和蓋子開關互鎖功能,確保操作安全
可選擇設置開機密碼功能,提高設備操作安全性
產品附件選擇:
標配四只真空載物盤(3/16”,1/2”,1”&2.25”),適于碎片至6寸圓晶的處理
定制載物盤可選,根據基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式載物盤設計加工
用于薄膜基片可提供定制微孔真空吸附載物盤
無油真空泵(抽氣量15L/min以上)或真空發(fā)生器可選
4-6寸手持式對中裝置可選
蓋子上點膠針筒支架手動點膠可選
瓶口分液器手動點膠可選
蠕動泵/點膠機等自動點膠裝置可選配
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