氣體質量流量控制器主要是用于自動化控制氣體的流量大小,能夠實現(xiàn)閉環(huán)自動控制氣體的流量大小,這很重要,對于微小的氣體控制更是很重要,******控制小流量的氣體對于設備的運行是至關重要的,有很多特殊的氣體使用氣體質量流量控制器更是無可替代,它們對于氣體的流量******控制更加重視。氣體質量流量控制器就完全能滿足這樣的使用要求。這是這個產品的優(yōu)點!我們的產品實驗室使用更加******,設備生產商使用廠本更加合理控制,研究院使用更加輕松安裝。
概要
C61系列采用溫度變化對應于質量流量的原理,氣體質量流量控制器可以對不同的氣體進行流量測量及控制。
氣體質量流量控制器可應用在50SLM到300SLM的氣體流量范圍,并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
我司生產的氣體質量流量控制器產品系列完整,可選擇數(shù)字式,模擬式,普通,高精度,高壓力型,性能且價格具有競爭力,應用領域廣泛。
特點
質量流量控制器流量范圍是以SCCM、SLM為單位。例如:
5SCCM 表示 5mL/min
50SLM 表示 50L/min