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剪切干涉儀
采用剪切干涉技術(shù),簡(jiǎn)單、直觀的檢測(cè)激光光束的平行度,可作為激光器裝調(diào)或?qū)嶒?yàn)室光路調(diào)整的基準(zhǔn)。 根據(jù)條紋相對(duì)于水平基線的旋轉(zhuǎn)角度可以計(jì)算出光束準(zhǔn)直度;同時(shí),通過(guò)判讀干涉條紋的形狀可以分析原始波面的波差分布。 因此,這既是激光束準(zhǔn)直檢測(cè)儀,又是定性化的光束波前分析儀。
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