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    包郵 關(guān)注:323

    E1550-初步小規(guī)模生產(chǎn)的臥式爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫(kù)       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥1000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：Centrotherm

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

     

    E1550

    初步小規(guī)模生產(chǎn)的臥式爐

     

    centrotherm E1550 最優(yōu)化系統(tǒng)，支持多種工藝能力，適用于中等生產(chǎn)能力和高工藝性能用戶，是一款安全、可靠、易于維護(hù)的臥式擴(kuò)散爐平臺(tái)。該爐可高達(dá)4層石英管或SiC工藝管， 其硅片尺寸可達(dá)300毫米的。憑借其低維護(hù)和運(yùn)行成本、及占地面積小等優(yōu)勢(shì)， E1550 可以生產(chǎn)出極具成本效益的產(chǎn)品。

     

    適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
    特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
    先進(jìn)的冷卻系統(tǒng):不同爐管之間沒有熱干擾
    全自動(dòng)片架傳送系統(tǒng)
    模塊化部件設(shè)計(jì)，便于在潔凈室安裝調(diào)試
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