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Verticoo 200
批量生產(chǎn)立式爐
verticoo 200 設(shè)計(jì)用于大量生產(chǎn),具有產(chǎn)量最大化、靈活性高等特點(diǎn),適用于所有標(biāo)準(zhǔn)大氣壓和低壓 CVD 工藝。帶雙工藝舟處理的單管裝置可降低處理時(shí)間、購(gòu)置成本和維護(hù)成本。
每批最高達(dá)150硅片
自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
雙工藝舟處理
水冷加熱箱
占用空間小
可進(jìn)行并排安裝
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