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    包郵 關(guān)注:622

    擴(kuò)散爐 氧化爐 科研爐 實(shí)驗(yàn)爐定制

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    CL-擴(kuò)散爐

    規(guī)格型號(hào)：

    定制

    發(fā)貨期限：

    60天

    庫       存：

    99

    產(chǎn)       地：

    中國-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加
    起       批 1-3件 4-5件 5件以上
    價(jià)       格 ￥185000.00 ￥178000.00 ￥168000.00
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    品牌：CL-擴(kuò)散爐

    型號(hào)：定制

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

     
    臥式擴(kuò)散爐--擴(kuò)散爐

    擴(kuò)散爐--高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐，晨立簡單介紹：

     

    擴(kuò)散爐--高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐，晨立

    設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光    電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。

    設(shè)備特點(diǎn)：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。    
    主要技術(shù)指標(biāo)：
    ★ 爐管數(shù)：1～4管
    ★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)
    ★ 恒溫區(qū)長度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)  760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
    ★ 單點(diǎn)穩(wěn)定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)    ±0.5℃/24h (800～1280℃)
    ★ 氣源路數(shù)：    ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
    ★ 氣體控制：    浮子/質(zhì)量流量計(jì)
    ★ 懸臂舟參數(shù)： 速度：    20～1000 mm/min    最大行程：2000 mm    定位精度：±1 mm    最大載荷：17 Kg
    ★ 超凈工作臺(tái)： 凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房）
    噪音：    ≤62dB（A）
    振動(dòng)：    ≤3μm
    晨立最新擴(kuò)散爐設(shè)備新鮮出爐,技術(shù)和質(zhì)量已達(dá)國際水平,受到半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)高度關(guān)注.可完全替代國外同規(guī)格高端產(chǎn)品滿足不同工藝的要求.

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