有諦工業(yè)科技(上海)有限公司提供符合EIT-SEMIF57標準的
FFKM全氟橡膠,F(xiàn)EP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各種半導體產(chǎn)業(yè)密封元件。
半導體設備,半導體材料以及晶圓制造(Wafer Fabr ication),晶圓測試(wafer Probe/Sorting),蝕刻,CMP,CVD、芯片封裝(Assemble),測試(Test)及后期的成品(Finish Goods)等相關設備工藝需要使用超高純,低污染,低滲透,耐腐蝕,耐化學介質(zhì),耐等離子特性及壓縮變形冷流功能優(yōu)異的密封元件。其中典型應用包括閥門O型圈,門密封,腔密封以及橡膠金屬腔體硫化連接。
應用場合
單晶爐,氧化爐,清洗機,蝕刻機Etching,化學物理沉積CVD/PVD,拋光設備CMP。
半導體材料的高分子工程塑料零部件,提供CNC數(shù)控加工,熱壓成型,注塑擠出的設計生產(chǎn)服務,最終呈現(xiàn)各類高分子塑料零部件,我們的業(yè)務專注于此。