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工作原理:主要基于超聲波在液體中的空化作用,這種作用產(chǎn)生的沖擊波可以深入物體表面的微觀凹陷處,實現(xiàn)深層清潔。同時,配合不同的化學(xué)試劑,可以有效地去除晶圓表面的化學(xué)劑殘留、顆粒、金屬等雜質(zhì)。
適用產(chǎn)品尺寸:2~12英寸
適用產(chǎn)品:Si、SiC、氮化鎵、陶瓷、氧化鎵、砷化鎵、LT/LN、藍寶石、石英、磷化銦等泛半導(dǎo)體材料
處理能力:25~50PCS/槽
藥液槽體材質(zhì):PPN;PVDF;PTFE;SUS316L;石英
DIW槽;PPN;PVDF;PVC
功能介紹:
藥液槽:加熱/制冷/恒溫;循環(huán);過濾;晶片旋轉(zhuǎn)/拋動;超聲/兆聲;
水槽:噴淋、溢流、鼓泡、快排、水阻檢測
自動供液:Local CDS/LCSS
控制系統(tǒng):PC+PLC+TP/PLC+TP
設(shè)備特點:
批量式處理;適用多種化學(xué)液槽;高溫溫控精準;腐蝕/刻蝕均勻性好;客制化軟件更符合使用;
應(yīng)用領(lǐng)域:襯底材料、集成電路、功率半導(dǎo)體、MEMS、光學(xué)等;
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