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    包郵 關(guān)注:12

    CMP后刷洗機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    RHXX

    發(fā)貨期限：

    30天天

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
     

    ITEM

    MODULE

    CONFIGURATION

    SPECIFICATION

    1

    Tank 1

    化學(xué)清洗

    槽體設(shè)計(jì)

    PTFE 焊接`

    適用藥劑

    清洗劑 / DIW

    藥劑溫度

    50~60℃

    藥液加熱方式

    In-Line Heater

    噴淋裝置

    4~6組噴嘴組

    噴嘴型式

    扇型/實(shí)心圓錐型,可更換

    運(yùn)作程序

    藥液噴淋-> DIW Rinse, 固定噴淋

    藥液使用后

    可回收或直接排放, 自行設(shè)定

    DIW使用后

    直接排放

    藥液供應(yīng)方式

    磁浮 Pump

    供應(yīng)桶材質(zhì)及容積

    PTFE 焊接 / 20 L

    DIW供應(yīng)方式

    廠務(wù)

    2

    Tank 2

    刷洗

    槽體設(shè)計(jì)

    NPP 焊接`

    適用藥劑

    DIW

    藥劑溫度

    RT ℃

    Brush

    雙PVA Brush 滾筒型, 同時(shí)刷洗雙面

    噴淋裝置

    4~6組噴嘴組

    噴嘴型式

    扇型/實(shí)心圓錐型,可更換

    運(yùn)作程序

    Brush + DIW Rinse 

    Mask 上下運(yùn)動(dòng)清洗`

    DIW使用后

    直接排放

    DIW供應(yīng)方式

    廠務(wù)

    3

    Tank 3

    Rinse

    槽體設(shè)計(jì)

    NPP 焊接`

    適用藥劑

    DIW

    藥劑溫度

    RT ℃

    加熱方式(選配)

    In-Line Heater

    噴淋裝置

    4~6組噴嘴組

    噴嘴型式

    扇型/實(shí)心圓錐型,可更換

    運(yùn)作程序

    DIW Rinse, 固定噴淋

    DIW使用后

    直接排放

    DIW供應(yīng)方式

    廠務(wù)

    4

    Tank Dry

    槽體設(shè)計(jì)

    NPP 焊接`

    適用藥劑

    N2

    藥劑溫度

    RT~70 ℃ 可設(shè)定`

    加熱方式(選配)

    In-Line Heater

    噴淋裝置

    4~6組噴嘴組

    噴嘴型式

    N2 氣體干燥專用噴嘴

    運(yùn)作程序

    N2 Dry, 固定噴淋

    D使用后

    Exhaust直接抽風(fēng)

    N2供應(yīng)方式

    廠務(wù)

     

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