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    家登RSP150 (OHT&兩側夾板)適用于ASML/Nikon/Canon曝光機

    應用于半導體行業(yè)：

    凈化間日常耗材-防靜電產品-物料盒

    產品品牌

    家登

    規(guī)格型號：

    RSP150 (OHT&兩側夾板)6寸

    庫       存：

    100

    產       地：

    中國-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥1.00
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    品牌：家登

    型號：RSP150 (OHT&兩側夾板)6寸

    所屬系列：凈化間日常耗材-防靜電產品-物料盒


    家登RSP150 (OHT & 兩側夾板)適用于ASML/Nikon/Canon曝光機

     

    §  光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋)

    §  材質：ABS(ESD)、PC(ESD)

    §  支援SMIF標準機械介面

    §  適用於ASML/Nikon/Canon曝光機

    §  支援充氣功能

    說明

    提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護，支援OHT自動化傳載，並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環(huán)境的溫溼度控制。

    規(guī)格

    §  尺寸符合SEMI規(guī)範

    §  支援OHT功能

    §  支援RFID功能

    特色

    §  ESD靜電消散材質：避免光罩受靜電損害

    §  與光罩接觸點皆為耐磨材質：有效減少Particle生成

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    家登以「製造服務業(yè)」自許，定位為「全球關鍵材料創(chuàng)新技術的整合服務商」，從傳產中的模具廠蛻變，躍升為世界級的半導體廠商，為快速有效地滿足客戶所有需求，家登發(fā)展出獨特的「創(chuàng)新服務模式」，以「Partner with H.E.A.R.T., grow with P.A.S.S.I.O.N.」為核心，採「協(xié)同創(chuàng)新Co-Creation」的創(chuàng)新模式，整合上下游客戶、供應商，打造出兼具彈性與效率的服務平臺未來，我們將持續(xù)以這樣的堅持，扮演「全球半導體領導廠商關鍵性材料創(chuàng)新技術的首選夥伴」。

     

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