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Su-8光刻膠

詳細介紹：A,B膠是一種基于環(huán)氧樹脂的環(huán)氧型的、近紫外光、負光刻膠。其專門用于在非常厚的底層上需要高深寬比的應(yīng)用。該種膠需要AB兩種膠按一定比例配比混合使用。
SU-8光刻膠以其優(yōu)異的機械性能、良好的熱穩(wěn)定性和耐腐蝕性，具有自整平、對近紫外光敏感且吸收極小等優(yōu)點，在MEMS (micro (optical) electromechanical systems)制造和裝配方面表現(xiàn)出其他光刻膠無法比擬的制造和性能優(yōu)勢。與硅或玻璃基底相比，金屬襯底上的SU-8工藝更有利于微細電鑄工藝。
SU -8膠應(yīng)用于MFMS、芯片封裝和微加工等領(lǐng)域。

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