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ZEISS的Axio Imager Vario 專為研究、開發(fā)及質(zhì)量控制領(lǐng)域中的樣品檢測而設(shè)計(jì) – 從最小的 MEMS 傳感器到超大晶圓。最高可達(dá) 254 mm 的超大樣品空間和最寬可達(dá) 300 mm 的橫向縱向移動(dòng)范圍，保證了在測量大樣品時(shí)不損壞樣品。一體的機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足超凈室等級(jí) 5 的要求。利用驅(qū)動(dòng) Z 軸的電動(dòng)馬達(dá)與 Auto Focus 自動(dòng)聚焦硬件，將低對(duì)比度的反射樣品自動(dòng)調(diào)整至最佳聚焦位置，始終呈現(xiàn)最理想的檢測結(jié)果。

優(yōu)點(diǎn)：

1、擴(kuò)展樣品空間

兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機(jī)柱可供選擇，充分利用顯微鏡最大 300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離和最高254 mm 垂直深度的優(yōu)勢(shì)。無論是檢測較重的樣品，或與 LSM 700 激光掃描顯微鏡組合使用 –結(jié)實(shí)的機(jī)柱使其具有穩(wěn)定性高和無震動(dòng)的特點(diǎn)。選擇適用于反射光與透射光的各種載物臺(tái)及樣品夾，讓您的應(yīng)用擴(kuò)展無極限。

2、認(rèn)證的超凈室組件

晶圓和光掩模檢測對(duì)潔凈度要求均十分嚴(yán)格。、Axio Imager Vario 已通過 DIN ENISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，其超凈室組件能滿足超凈室等級(jí) 5 的要求。多種附件可選，如配有顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩的 7 孔物鏡轉(zhuǎn)盤，能有效保證樣品持續(xù)潔凈，充分發(fā)揮機(jī)器性能。

3、隨時(shí)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)自動(dòng)聚焦

集成有 Auto Focus 快速自動(dòng)聚焦硬件系統(tǒng)的Axio Imager Vario 可用于高射、低對(duì)比度樣品的表面檢測。聚焦系統(tǒng)能夠保證聚焦精度達(dá)到所使用物鏡景深的 0.3 倍，且適用于反射光與透射光應(yīng)用。當(dāng)傳感器檢測到聚焦位置發(fā)生微小變化時(shí)，系統(tǒng)快速自動(dòng)補(bǔ)償偏差。即便是大尺寸樣品，在 XY 方向上也能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)聚焦。

蔡司 Axio Imager Vario 光學(xué)顯微鏡

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