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供應(yīng)Union非接觸式顯微鏡

采用光學(xué)和非接觸方法探測(cè)焦距的方法，測(cè)量不會(huì)給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測(cè)量時(shí)產(chǎn)生的。基于目標(biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用，以簡(jiǎn)單地把兩個(gè)目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來(lái)進(jìn)行高精度的測(cè)量..

◎ 高精度的圖像自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的測(cè)量結(jié)果和精確度是很可靠的，沒(méi)有人為的因素。
◎ 通過(guò)電腦控制，可以完成多點(diǎn)的自動(dòng)連續(xù)測(cè)量，高級(jí)的資料處理軟體可以極大的提高測(cè)量時(shí)間。

功能：
非接觸測(cè)量微細(xì)的撞擊、臺(tái)階等。
◎ 通過(guò)高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)和精確的聚焦指示器完成高精確的測(cè)量
◎ 簡(jiǎn)單的操作
◎ Z軸測(cè)量行程可從幾個(gè)μm 到10mm
◎ 同時(shí)還可以完成測(cè)量點(diǎn)的表面觀察

觀測(cè) 頭：三目
Z軸測(cè)量范圍： 0.1μm 讀數(shù)，10mm 行程
Z軸測(cè)量精度： 3σ=1μm (40×)
光學(xué)鏡身：精確的自動(dòng)聚焦單元
物鏡： 5× - 100×
測(cè)量軟體： 4種模式
資料處理軟體：顯示最大值，最小值，平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差值等

Union非接觸式顯微鏡

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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