恩科優(yōu)(NXQ)4000系列半?自動掩膜對準曝光系統,融合了獨立的模塊化設計,精準控制對準和曝光等特點。自動程序控制使得該系統易于操作存儲和使用,適合實驗室多用戶使用。該系統以其卓越的性能,經濟的價格,深受全球用戶喜愛,截止2011年底,超過4000臺NXQ光刻機遍布全世界的科研實驗室、研發(fā)中心和工業(yè)生產線。
系列型號(根據曝光基片的尺寸范圍選擇合適的型號)
NXQ4006 半自動型(可處理最大到6英寸的基片)
NXQ4008 半自動型(可處理最大到8英寸的基片)
適用領域(包括但不限于下述領域的光刻工藝)
微電子
LED/HB LED
3D IC/晶圓制造工藝
2.5D Interposer
MEMS
BioMEMS
微流控芯片
化合物半導體
太陽能(HCPV)
光電子

