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    藍寶石爐

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-長晶設備-藍寶石長晶爐

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-長晶設備-藍寶石長晶爐

     產(chǎn)品特點：

    1）先進的熱場設計；溫場穩(wěn)定、可靠，使用壽命長，有效降低能耗及耗材消耗

    2）采用IGBT高頻電源，精度高、效率高，提高晶體品質(zhì)和成晶率

    3）內(nèi)置隔離系統(tǒng)，集成式爐內(nèi)退火及快速更換籽晶功能，提高晶體品質(zhì)及設備利用率

    4）防粘鍋設計，提高成晶率真及坩堝壽命

    5）冷卻水入口溫度±0.5℃，提高晶體品質(zhì)和成晶率

    5）先進真空管理及氣體分配系統(tǒng)

    6）安裝裝置及互鎖，提高安全性

    7）高精度閉環(huán)控制，減少了操作中的人為影響

    8）友好的人機界面，生長過程的各項工藝參數(shù)顯示直觀，操作便捷

    產(chǎn)品優(yōu)勢：

    1）集成一體化工藝：爐內(nèi)退火，減少開裂及碎晶

    2）全球最低每毫米晶體制造成本：低電能及耗材消耗量，同比下降40%

    3）首批設備調(diào)試時間：縮短至3個月

    4）革新性熱場設計：經(jīng)高速計算機模擬驗證，提高成晶率

    5）熱場材料選擇：降低能耗及耗材消耗，提高熱場穩(wěn)定性及設備利用率

    6）設備利用率及成晶率各提升約15%-20%

     

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