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    激光剝離系統(tǒng) -ELMS系列

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-激光設備

    產品品牌

    上海進緯

    規(guī)格型號：

    ELMS系列

    庫       存：

    100

    產       地：

    中國-上海市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥10000.00
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    品牌：上海進緯

    型號：ELMS系列

    所屬系列：半導體加工設備-激光設備

    激光剝離系統(tǒng) -ELMS系列

    總體描述:

    ELMS系列是用激光從藍寶石基板分離GaN或AlN薄膜。它可以用于各種尺寸晶片或芯片

    級的薄膜剝離，通過施加了QMC專利的解決方案，軟 LLOTM。

    它是用于高亮度LED的制造， 以及在堆疊組件的半導體芯片所需的微機械加工。  

    優(yōu)勢特點：

    全自動操作系統(tǒng)

    自動補償產品厚度偏差。

     

    清除光束轉達系統(tǒng)

    長壽命，免維護的光學鏡片和最佳的激光束傳輸方式。

    根據(jù)工藝要求自動調整鐳射功率的能力。

    最大鐳射光斑尺寸: 4mm x 4mm。

    激光同質性: < ±5% in 2δ。

    花崗巖抗震動支撐結構。

     

    其他

    激光束的強度監(jiān)測功能。

    一觸式屏幕框架易于維護。

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