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設(shè)備用途及特點(diǎn): |
1. 本設(shè)備依據(jù)主要適用于晶圓的倒角工序,具有操作簡(jiǎn)單、生產(chǎn)效率高和耗材成本低等特點(diǎn)。 2. 設(shè)備主體構(gòu)件采用天然大理石材質(zhì);機(jī)器穩(wěn)定不變形,運(yùn)動(dòng)時(shí)振動(dòng)小,是機(jī)器保障精度永久不變形的首選。 3. 機(jī)床關(guān)鍵部件導(dǎo)軌采用進(jìn)口精密級(jí),保證機(jī)床的高精度。具有高強(qiáng)度導(dǎo)向和運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性,適合高速加工:機(jī)床采用進(jìn)口研磨級(jí)絲桿,傳動(dòng)精度高,能確保長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)機(jī)械誤差。 4. 設(shè)備標(biāo)配4英寸專用晶圓夾具,提高了生產(chǎn)效率、減少了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。 5. 運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)采用日本進(jìn)口伺服系統(tǒng),配合高精度的運(yùn)動(dòng)部件,最高運(yùn)動(dòng)速度為18m/分,最高倒角速度為15m/分。 6. 采用高精度、高靈敏度日本美德龍自動(dòng)對(duì)刀儀,保證刀具長(zhǎng)度自動(dòng)補(bǔ)償,確保加工精度。 7. 主軸選用6萬(wàn)轉(zhuǎn)速﹑氣動(dòng)換刀﹑陶瓷軸承電主軸;確保加工光潔度,效率高。 8. 專業(yè)三重全防水結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),在最惡劣的工況環(huán)境下,也能確保絲桿導(dǎo)軌不受污染。 9. 采用意大利水泵,六點(diǎn)式噴水設(shè)計(jì),加工中水能均勻全方位的包住磨頭;提高刀具的使用壽命、有效的防止晶圓的崩邊。 10. 采用臺(tái)灣寶元專用控制系統(tǒng),開放式軟件接口,自動(dòng)加工支持完整ISO標(biāo)準(zhǔn)的G指令、HP繪圖儀(HP PLT)格式、DXF格式和精雕加工(ENG)格式,支持國(guó)內(nèi)外主CAD/CAM軟件。 |
主要技術(shù)參數(shù): |
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