緊湊經(jīng)濟(jì)型手動(dòng)探針臺(tái)
HMP-400 4’’探針臺(tái)
HMP-600 6’’探針臺(tái)
這個(gè)緊湊的手動(dòng)探針臺(tái)針對于小的晶圓從4’’到6’’。探針可測量超低電流到fA兩級(jí)和pF低電容選項(xiàng)。
高溫測量采用高溫臺(tái),溫度從室溫到300℃。
應(yīng)用:
超低信號(hào)I-V測量(fA級(jí))
各種C-V測量(準(zhǔn)靜態(tài)C-V, HF-CV)
4電阻測量
擴(kuò)展應(yīng)用:
溫度范圍:室溫到200℃/300℃
加裝手套箱
支持探卡
RF測量(最高67GHz)
超高速I-V測量
高功率元器件測量(100A脈沖,+/-3kV三軸,+/-10kV同軸)
光電子光接收/發(fā)散特性應(yīng)用(LED,LD,VCSEL,PD)