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SemiProbe的手動探針臺是模塊化結構設計最明顯和最靈活的300mm手動探針臺。它采用了SemiProbe獨家專利技術Probe System for Life (PS4L)可適應性結構設計，提供了無與倫比的靈活性和大大地節(jié)省了設備資金費用。PS4L系列探針臺滿足了客戶對規(guī)格參數(shù)精準的要求。

PS4L 手動探針臺

晶圓探針系統(tǒng)的PS4L系列探針臺是基于SemiProbe獨家專利技術Probe System for Life (PS4L)可適應性結構而設計的。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe的PS4L系列探針臺中所有的基礎模塊-基座，平臺，卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學組件，操縱器等等都是可以更換的。這樣的特點使得PS4L系列探針臺以非常有競爭力的價格滿足了多種應用需求和預算要求，為客戶提供了非常經(jīng)濟適用以及完美的解決方案。獨特的模塊化設計使得客戶可獲得測試性能精準地滿足了他們的要求。更重要的是，PS4L可隨著測試環(huán)境和測試條件的改變從而輕易地進行現(xiàn)場升級以滿足新的要求。比起傳統(tǒng)的探針臺，這樣的設計理念使得即使當晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時，PS4L也無需重新更換新的平臺，便可用最短的時效和最經(jīng)濟的費用完成最有效的測試。

SemiProbe M12探針臺可有完整的整套附件可選，包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座，探針，激光，光學部件，CCTV系統(tǒng)，隔振臺，暗箱等等。

產(chǎn)品特征和優(yōu)勢：

1.可現(xiàn)場升級，300mm手動探針臺可升級為450mm手動探針臺

2.可現(xiàn)場升級，300mm手動探針臺可升級為450mm半自動探針臺

3.所有關鍵部件都是可以更換的，這樣使得系統(tǒng)更便于配置滿足各種應用需求和預算要求-無論是現(xiàn)在還是未來

4.軟件和硬件模塊提供了永久性的現(xiàn)場升級功能

主要應用/服務市場：

設備特性，MEMS，光電，高頻/微波，光伏，失效分析，光伏，材料科學等等

規(guī)格參數(shù)：
尺寸	1200 mm X 550 mm X 900 mm (47.3” X 21.6” X 35.4”) (W,H, L) – with optics
重量	250 Kg (550 lbs.) - Vibration Isolation (table and frame)
卡盤平臺 X-Y 移動	Several stages to select from to meet performance and budget requirements Travel: 305 mm x 305 mm Planarity: +/- 10 μm over travel range Resolution: 5 μm Independent X and Y linear movement
卡盤平臺Z 移動	Z Travel: 10 mm Z Contact/Separation Stroke: 4 mm adjustable
Theta移動	Travel: 360 degrees
卡盤	Vacuum or mechanical clamping, round or square, ambient, thermal and custom Handle die, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to 300 mm Nickel plated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materials available Planarity: 15 μm
壓盤	Aluminum with stainless steel top 360 degree manipulator placement Manipulator fixation – magnetic, vacuum
壓盤移動	Platen Lift: Choice of fixed or adjustable Adjustable: Coarse - 25 mm, Fine – 6 mm
顯微鏡裝置/移動	Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm
光學組件	Stereo Zoom, Zoom Tube, A-Zoom or Compound Microscope
其它工具	Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum: 23 Hg or -0.8 bar

PS4L 手動探針臺 SemiProbe

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