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    離子束設(shè)備制造

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-其他設(shè)備類-其他

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    全國

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    湖北江海行集團(tuán)與武漢大學(xué)簽訂了產(chǎn)學(xué)研合作協(xié)議，成立了離子加工與表面工程技術(shù)中心、離子束納米加工技術(shù)國際科技合作基地。團(tuán)簇離子源和團(tuán)簇離子束設(shè)備的研制，提高了我國離子束設(shè)備和儀器產(chǎn)品的競爭力，帶動上百億元的關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)和市場。相關(guān)受益產(chǎn)業(yè)包括：

    （1）離子束設(shè)備制造：包括團(tuán)簇源、離子注入機的研發(fā)和生產(chǎn)，提高設(shè)備的國產(chǎn)化水平，促進(jìn)常規(guī)離子束設(shè)備升級換代，提高新型高端離子束設(shè)備的設(shè)計制造水平。

    （2）半導(dǎo)體器件產(chǎn)業(yè)：大規(guī)模集成電路制造、亞納米表面平化、半導(dǎo)體刻蝕、精密光學(xué)元件的離子束修形。

    （3）團(tuán)簇離子束沉積：主要用于制備超薄類金剛石薄膜（超薄涂層機械零部件、超硬涂層刀具）、亞納米二維材料（石墨烯、石墨烯相氮化碳、硅烯、硫化鉬、硒化鎢等）。


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