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概要
這是一臺(tái)帶有扁平環(huán)(供應(yīng)側(cè)),托盤(pán)(存儲(chǔ)側(cè))裝載機(jī)和卸載機(jī)的全自動(dòng)機(jī)器。
對(duì)于每個(gè)芯片,執(zhí)行NG標(biāo)記辨別,角落抖動(dòng)檢測(cè)和位置校正值檢測(cè)。
在更換環(huán)時(shí),在附屬的成像裝置上執(zhí)行晶片粘貼機(jī)處的角度偏差檢測(cè)(θ校正值)。
特點(diǎn)
采用最新型線性傳送拾取臂的高速(0.5秒/ 1片)自動(dòng)機(jī)器FD分類(lèi)是可能的
通過(guò)切割之后半導(dǎo)體元件(芯片)的NG標(biāo)記的存在/不存在以及前一過(guò)程中探測(cè)機(jī)的數(shù)據(jù)(FD)分離到托盤(pán)中
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