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    名正機器 13B拋光機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機

    產(chǎn)品品牌

    名正機器

    庫       存:

    1000000

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:名正機器

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-拋光機

    機械參數(shù):L2200*W1835*H2822  
    重       量:4500KG
    特點:3馬達驅(qū)動,上下定盤、齒圈、中心齒獨立驅(qū)動;(可拓展為四馬達驅(qū)動方式)
    可編程邏輯控制器PLC + 觸摸屏,操作簡單快捷;
    可存儲20個不同加工工藝的程序;
    夾具正轉(zhuǎn)、夾具逆轉(zhuǎn)交互使用實現(xiàn)盤面在工作中自修正。
    可以由CPU自行分配上下定盤、中心齒、齒圈的轉(zhuǎn)速,也可以操作人員按照自己的計算和經(jīng)驗單獨為 上下定盤、中心齒、齒圈設(shè)定合適的轉(zhuǎn)速,可以方便操作人員更好地設(shè)計工件的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)軌跡,設(shè)定任意的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)比,達到最佳的加工條件和最優(yōu)的加工結(jié)果。
    高精密稱重傳感器,實現(xiàn)落盤壓力可控,保證落盤時工件的安全。全程壓力閉環(huán)反饋實時補償壓力值,以保證壓力的精準(zhǔn);
    3電機驅(qū)動(四馬達驅(qū)動),并采用CC-link通訊協(xié)議,最大程度的消除了多余載荷的沖擊,顯著延長游星輪、外齒圈、太陽齒的使用壽命.保障工件應(yīng)力釋放充分。
     
     

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