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美國ALICAT 11系列基本型質量流量控制器，美國ALICAT 11系列標準型質量流量控制器，采用內部補償型層流壓差專利技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制
器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的11系列數字式質量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質電磁閥以及優(yōu)化的PID調校，可達到優(yōu)于100ms的控制速度，并保持極佳穩(wěn)定性。
產品特點 ：
● 低價位產品
● 標配模擬控制方式，數字可選
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
技術參數 ：
介質要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類：單種氣體標定，請參考背面氣體兼容表
量程：從0-10SCCM 到 0-20SLPM（詳情請咨詢）
量程比：200:1
最大顯示流量：102.4%FS
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程
重復性：± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm
預熱時間：<1s
響應時間：100ms(可調)
標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓
工作溫度：-10 ～ +50 ºC
工作濕度：0-100%,無冷凝
標準最大工作壓力：1MPa 表壓
標準極限耐壓：1.2MPa 表壓
中壓選項：2MPa
模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
數字輸入/輸出信號：可選RS-232
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA
電氣接口：DB15
材質：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對位置無要求 防護等級：IP40
應用及案例 ：
● 大學/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半導體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計量
● 過程工藝氣體測量
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