全自動硅片腐蝕清洗機該設(shè)備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕，德國進口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工；一、槽體結(jié)構(gòu)：該槽體實現(xiàn)腐蝕或后殘留在片子上的化學液及污染顆粒的沖洗祛除功能。它由安裝在槽體底部的快排閥、DI注入孔（包括氮氣鼓泡）及頂部左右兩側(cè)的DI噴嘴實現(xiàn)槽體的快速注入與排放。二、工藝控制：快排沖洗槽（QDR）的工作過程由獨立K200型專用控制器保證。所有工序均由機械手自動行走自動完成
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全自動倒片功能，兼容SMIF和FOUP。
• 兼容8寸，12寸Wafer清洗。
• 自動配液系統(tǒng)，實現(xiàn)不同濃度精確配比。
• 支持Marangoni干燥。
• 支持多任務并行處理。
• 模塊化設(shè)計。
• 結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小。
• 維護成本低。
• 滿足SEMI S2、SEMI S8和CE標準。
• 針對易燃易爆化學品配置二氧化碳滅火系統(tǒng)。
• 潔凈等級符合 ISO Class 1標準
售后保障
公司秉持“合作、共贏、自主、創(chuàng)新”的發(fā)展理念，在充分合作的基礎(chǔ)上，以技術(shù)創(chuàng)新、管理創(chuàng)新和服
務創(chuàng)新為一驅(qū)動力，通過自主研發(fā)、自主管理建立自主知識產(chǎn)權(quán)、打造自主品牌，努力實現(xiàn)多方共贏，積
極推進傳統(tǒng)制造向智能制造轉(zhuǎn)型升級。
目前已形成以蘇州為中心，工廠、辦事處遍及全國的戰(zhàn)略布局。
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