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當前位置: 首頁 » 設備館 » 半導體加工設備 » 晶圓減薄拋光設備 » 磨削機 »高精密數控外圓磨床(FX32P-60CNC)
    包郵 關注:613

    高精密數控外圓磨床(FX32P-60CNC)

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-磨削機

    庫       存:

    99

    產       地:

    全國

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-磨削機

     1、 技術規(guī)格:

    項  目

    單 位

    機型:FX32P-60CNC

     

     

    加工能力

    工作臺最大旋徑

    mm

    320

    兩頂針最長距離

    mm

    600

    最大研磨直徑

    mm

    320

    兩頂心間最大荷重

    Kg(b)

    100(頂心工作)/20(只有工作頭)

    砂輪尺寸(直徑×寬度×孔徑)

    mm

    405×38(32-50)×127

    砂輪轉速

    rpm

    1650

    砂輪最大線速度

    m/s

    35(高速砂輪可達65)

     

    砂輪修整

    mm

    自動型

    砂輪頭

    進給角度

    Deg

    90

    進給行程

    mm

    250

    X軸進給速度

    m/min

    6

    X軸最小進給量

    mm

    0.001

    頭架

    主軸轉速

    rpm

    50-500

    主軸形式

     

    同動或定心

    頂針規(guī)格

     

    MT-5

    尾座

    自動伸縮距離

    mm

    40

    頂針規(guī)格

     

    MT-4

    工作臺

    Z軸快速移動速度

    m/min

    8

    Z軸最小進給量

    mm

    0.001

    最大移動行程

    mm

    640

    旋轉角度

    Deg

    +7/-3

    馬達

    砂輪主軸馬達

    KW

    3.75

    X軸進給馬達(伺服)

    KW

    1.5

    Z軸進給馬達(伺服)

    KW

    1.5

    頭架主軸馬達

    KW

    0.75

    冷卻水泵馬達

    KW

    0.75

    潤滑油馬達

    KW

    0.25*2

    尾座油泵馬達

    KW

    0.75

    其他

    機器凈重

    Kg

    3300

    機器毛重

    Kg

    3500

    包裝尺寸(長*寬*高)

    mm

    2700*2000*2000

     

    2、 機床精度:

    (1)機床精度檢驗表

    (2)經過豪特曼外圓磨床研磨(磨削),須達到如下標準精度要求:(不同材質工件選用不同砂輪)

    No.

    機型

    工件

    真圓度

    粗糙度

    1.

    FX32P-60CNC

    標準試樣件

    ≤0.0015mm

    ≤Ra0.2

       注:粗磨 (一般情況研磨量 0.03~0.05mm);精磨 (一般情況研磨量0.01~0.015mm)

    一、 設備描述:

    1、 本體

    本體及構件采用米漢納高級鑄鐵FC30鑄成,經人工正?;療崽幚?,再經過自然時效處理。構件加工采用YASDA,MITSUI SEIKI,TOSHIBA ,ELB等世界一流設備一次裝夾加工。精密尺寸可達微米級,確保設備基礎構件高精度。

    2、 自動潤滑系統

    機床導軌及精密滾珠絲桿持續(xù)不斷地受到自動潤滑系統的供油潤滑,確保更長使用壽命,及長期保持最佳精度。冷卻系統與機體分開,消除振動并且有利散熱。

    3、 自動化系統

    配置西門子828D數控自動化研磨系統,并進行二次開發(fā),實現人機對話傻瓜式操作,備有眾多選購配備可供選擇,包括內孔研磨裝置、自動端面測量裝置、自動外徑測量裝置等。

     

    4、 砂輪頭進給軸

    研磨進給系統是由手工精密鏟花的一V一平軌道搭配自動潤滑系統、C3級精密研磨滾珠絲桿組成,能獲平順運動、優(yōu)異的重復定位精度及較長的軌道壽命。

     

    5、 砂輪主軸

    砂輪主軸標準配置為后四后二軸承式結構。也可以選配高精密動靜壓主軸,具有回轉精度高,動態(tài)剛度高,抗振性好,磨削效率高,磨削表面質量好的特點,針對特殊工件研磨,具有砂輪轉速可調,最高可達3500轉/分,線速度最高可達60m/s。

     

    6、 尾座

    尾座的設計不但具有剛性且堅固,包覆在鑄鐵本體內經硬化的合金鋼滑筒設計用來承載MT4頂心,滑筒的頂緊力很容易經由后方的調整旋鈕進行改變。特殊附件油壓尾座附有踏板便于裝卸工件。

    7、 數控系統

    采用西門子數控系統為標準配置,經過二次開發(fā),全中文操作界面,簡單易用。并配以西門子高性能伺服電機,使設備數控系統和傳動系統有較好的兼容性,同時具備自動修砂和自動補償功能,保障了進刀和磨削的穩(wěn)定性和精度。

     

    一、設備配置:

    1、標準附件

    序號

    項目名稱

    產地

    廠牌/型號

    數量

    1

    CNC數控系統(二次開發(fā))

    德國

    西門子828D

    1套

    2

    伺服馬達

    德國

    西門子

    2套

    3

    滾珠絲桿

    日本

    THK

    2套

    4

    砂輪主軸/頭架主軸

    臺灣

    健倡

    各1支

    5

    全自動注油器

    臺灣

    寶騰

    2套

    6

    聯軸器

    臺灣

    NBK

    2套

    7

    水泵驅動馬達

    臺灣

    寶騰

    1組

    8

    開關按鈕/接觸器/繼電器

    日本

    富士

    1組

    9

    皮帶

    美國

    GATES

    2組

    10

    油路構件

    臺灣

    漳化振榮

    1組

    11

    軸承

    德國

    FAG

    10支

    12

    頂尖

    臺灣

    臺興

    2支

    13

    砂輪拆卸器       

    豪特曼

    定制

    1只

    14

    砂輪平衡棒

    豪特曼

    定制

    1只

    15

    砂輪平衡臺

    豪特曼

    定制

    1只

    16

    碳化鎢全圓頂針,半圓頂針

    臺灣

    臺興

    各一只

    17

    潤滑油裝置

    臺灣

    寶騰

    1組

    18

    砂輪修整裝置

    豪特曼

    定制

    1組

    19

    床臺角度調整裝置

    豪特曼

    定制

    1組

    20

    手動工具及工具箱(1.百分量表、2.油壺、3.一字起子、4.十字起子、5.梅開扳手6支、6.六角扳手10支)

    豪特曼

    定制

    1組

    21

    標準法蘭

    臺灣

    千島

    1組

    22

    標準研磨液供給裝置(冷卻裝置)

    豪特曼

    定制

    1組

    23

    防水鈑金

    豪特曼

    定制

    1組

    24

    水平調整螺絲及墊塊

    豪特曼

    定制

    1組

    25

    鉆石修刀筆(單點式)

    臺灣

    一品

    1組

    26

    電控箱制冷空調

    臺灣

    瑞科

    1套

    27

    操作手冊、零件手冊、檢驗報告

    豪特曼

    定制

    1套

     

    2、特殊附件(選配)

    序號

    項目名稱

    產地

    廠牌/型號

    數量

    1

    外徑在線自動測量儀

    意大利

    馬波斯E9

    1套

    2

    端面在線自動測量儀

    意大利

    馬波斯T18

    1套

    3

    磁鐵+紙帶過濾機

    東莞

    普科

    1套

    4

    全罩式鈑金

    東莞

    豪特曼定制

    1套

     

    二、裝機環(huán)境要求:

       

    1

    電源電壓                                 

    380V

    2

    裝機總功率                               

    10KW

    3

    操作環(huán)境溫度                                

    8-40℃

    4

    磨削液過濾方式

    磁鐵或紙帶過濾

    5

    冷卻水泵

    0.75KW

    6

    冷卻水箱

    200L

     

    三、標準技術文檔

    No.

                

     

         

    1

    操作使用說明書                                

    一本

    中文

    2

    外圓磨床出機清單                                 

    一份

    中文

    3

    外圓磨床交機驗收單

    一份

    中文

    4

    外圓磨床精度檢驗報告

    一份

    中文

    5

    數控系統用戶手冊

    一份

    中文

     

    四、工件磨削工藝:

    1、工件圖紙: 

    2、工件材料:

    3、設備配置:

    4、磨削工藝:

    5、生產節(jié)拍: 

     

    五、設備預驗收:

    1、預驗收的條件:

    (1)買方需在合同及技術協議簽訂前提供確認的磨削工件相關圖紙、實樣和試驗規(guī)范要求;

    (2)賣方對買方所提供的所有技術資料,負有保密的責任;

    (3)預驗收時間將由賣方在預驗收前10天通知買方,買方準備好相關工件10支發(fā)給賣方或買方根據情況帶工件到賣方工廠現場驗收。

    (4)賣方應在買方人員到達設備生產廠前,做好預驗收的準備工作。

    (5)砂輪參數將由賣方根據客戶提供圖紙自行選配,合同簽定后配置相關砂輪。

    2、預驗收內容和標準:買賣雙方達成的驗收規(guī)范,按買方提供的圖紙標準進行。

    (1)設備外觀檢查。

    (2)設備的操作,維修的方便性(依照賣方機床設備之設計為準)。

    (3)設備的強度,剛性對質量的影響(依賣方提供之設備精度檢驗表為準)

    (4)設備運行的實測記錄(空、滿負荷運轉時間、內容等)。

    (5)設備的各主要性能指標實測記錄。

    (6)對主要零部件的檢驗記錄抽查和裝配記錄抽查內容。

    (7)對重要配件的確認。

    (8)對可磨削的產品連續(xù)加工5件,達到圖紙要求,且設備運行正常。

    (9) 預驗收工件在磨削過程中允許賣方加工出的廢品將與合格試件或可與出貨機臺一起運買方。

    3、在預驗收過程中買方有權對設備提出合理的整改意見,經雙方同意后賣方可以整改;

    4、預驗收合格,賣方簽署預驗收文件后,賣方才可發(fā)運該設備給買方。

     

    六、安裝調試及終驗收

      1、設備到達買方后,賣方將派出相關技術人員對該設備進行安裝、調試。

      2、安裝調試至設備正常工作具體內容見《交機驗收單》。

      3、賣方將根據實現情況現場進行工件的磨削,達到圖紙要求,由買方驗收人員簽字后即為終驗收合格。

     

    七、技術培訓及服務:

    1、賣方設備到達買方并作終結驗收合格一年內為保固期,正常使用情況下損壞免費保修(人工和零件均為免費),保固期后賣方長期為買方提有償服務。

    2、賣方免費派技術人員對買方操作人員進行以下內容的培訓: 磨床正常調試,砂輪更換,液壓油路保養(yǎng),油封布司更換,電器組件的正常維護,磨床操作安全規(guī)范,磨床操作基本知識,磨床基本故障判斷等 。

    3、買方需要提前安排磨床操作人員,培訓時間為1-3個工作天,由于買方操作人員問題而造成設備無法交接和培訓,責任由買方承擔。如果買方要求延長培訓時間,將根據買方培訓收費標準收取相關費用。

    4、賣方技術人員的培訓期間,買方免費提供午餐,其它食宿費用由賣方自行承擔。

    5、對于設備故障投訴,賣方在12小時內給出響應并提供解決方案,48小時內可派人到達現場解決問題。

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