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HVA 矩形閥 88200 系列

HVA 矩形閥 88200 系列

上海伯東美國(guó) HVA 矩形閥門(mén) 88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥，可靠使用壽命超過(guò)1百萬(wàn)次。HVA 閘板閥專(zhuān)用于真空相關(guān)系統(tǒng)，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過(guò)渡腔室（load-lock chamber），過(guò)渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。

HVA 88200 系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 超百萬(wàn)次可靠運(yùn)行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計(jì)
3. 閥動(dòng)作平穩(wěn),振動(dòng)和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過(guò)1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下

HVA 88200 系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)

連接形式：	標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭
主體材料：	鋁
公稱(chēng)通徑：	DN32222 mm-DN50336 DN32222 mm-DN1001250
漏率:	2x10E-9 AtmCC/Sec
壓力范圍:	1x10E-9 Torr
烘烤溫度:	《150℃
適用介質(zhì)：	水、蒸汽、空氣
密封形式：	軟密封型
驅(qū)動(dòng)方式：	氣動(dòng)
使用壽命:	1000000 啟閉次數(shù)

28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號(hào)及2D & 3D 圖

DN		Model
mm	inch	Number	J (Bolted Body)			K (Clamped Body)
32 x 220	1.26 x 8.74	28212-0109RX_	2D	3D	Quote	2D	3D	Quote
32 x 332	1.26 x 13.07	28212-0113RX_	2D	3D	Quote	2D	3D	Quote
46 x 236	1.81 x 9.29	28212-0209RX_	2D	3D	Quote	2D	3D	Quote
50 x 336	1.97 x 13.23	28212-0213RX_	2D	3D	Quote	2D	3D	Quote

HVA 28200＆88200 系列矩形真空板閥部件圖

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上海伯東 HVA 矩形閥 88200 系列

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