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    音圈電機驅動三自由度晶圓調節(jié)臺

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體器件-控制器類-其他類

    產(chǎn)品品牌

    阿米精控

    規(guī)格型號：

    NP-VCM-UVZ-10B

    發(fā)貨期限：

    3~6個月天

    庫       存：

    2

    產(chǎn)       地：

    中國-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    客服電話：4006988696

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    品牌：阿米精控

    型號：NP-VCM-UVZ-10B

    所屬系列：半導體器件-控制器類-其他類

     音圈電機驅動三自由度晶圓調節(jié)平臺，通過三軸音圈電機并聯(lián)運動實現(xiàn)Z軸直線運動和θx/θy軸旋轉運動。系統(tǒng)有效發(fā)揮了音圈電機高帶寬、高精度和高動態(tài)的直驅作動優(yōu)勢，并配合NPC031音圈電機專用運動控制器內嵌的運動算法和軟件，可以實現(xiàn)單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸圓弧插補、任意圓心旋轉等復雜軌跡運動，并滿足晶圓臺在不同應用場景的定位、對準、掃描、軌跡跟蹤的各類高精度、高動態(tài)和高可靠性運動需求。該系統(tǒng)可用于半導體設備、光學制造、激光加工等諸多產(chǎn)業(yè)領域。

    性能參數(shù)：

    · Z向行程：3mm

    · Rx/Ry行程：±12.5mrad

    · Z向重復定位精度：14.9nm

    · Rx重復定位精度：12.2μrad

    · Ry重復定位精度：15.1μrad

    · 負載:1kg

    · 整定時間:≤100ms


    平臺特點：

    · 機械設計緊湊：在緊湊空間中實現(xiàn)三自由度 (Z, Rx, Ry) 運動

    · 動態(tài)性能優(yōu)秀：快速定位與對準、高速掃描和軌跡跟蹤、寬頻域擾動抑制與防抖等

    · 可內置真空氣路以及真空閥供真空卡盤使用

    · 中空結構設計,可作為光學式檢測或導通測試等運動模組使用

    應用領域：

    半導體：晶圓檢測與量測、硅片對準與定位、半導體封裝、芯片與器件測試等

    主動光學：超分辨成像、電子顯微成像、大視場成像、光學對準與操作等

    精密制造：激光加工、增材制造、光學加工、MEMS制造與檢測等



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